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第45章 光刻机技术（第2页）

于成伟等人看到下来的是一个不过二十来岁的年轻人，取下眼镜揉了揉眼睛。

似乎不太敢相信。

这是哪家的公子哥？

“这……”

和他们想象的差的也太多了！

要能在光刻机领域有所建树，怎么着都得有个五六十岁了吧？

怎么能是一个二十来岁的年轻人呢？

在众人的诧异中，杨辰走上前问道：“你们好，我叫杨辰，请问你们哪位是负责人？”

于成伟一惊，科学院通知前来考察的特殊人物就叫杨辰。

他连忙站出来，伸手握道：“您好，欢迎领导来我们这里考察，我是负责人于成伟”

不愧是商业巨擘，很快就调整好了自己的心态。

“于董您好。”

“那请问，哪位是叶天明，叶博士啊？”

还处于震惊中的叶天明没想到杨辰一来就开口问他，人还一脸呆滞呢。

“这位就是叶博士。”

于成伟伸手拉了一下叶天明，后者才恍然。

“你……您好。”

他感觉自己有些不会说话了。

“叶博士，您好。”

杨辰伸出手。

“您好。”

“叶博士，我看了您技术资料，说实话，您是真了不起。”

“竟然可以用瑞利判据，将光的衍射角做到那种程度。”

“不断使得加速电压U增大大，电子束波长λ就越小，最后极限衍射θ角就越小。”

“您这是走的绕开了EUV的光源，试图用电子束来进行替代，并且取得了很不错的成效。”

“实在是一个很了不起的工作。”

杨辰赞叹道。

行家一出口，就知有没有！

叶天明听到杨辰的话心中一震。

这正是他研究的方向！

电子束光刻机。

不仅仅可以避开极紫外光的制造问题，还能一定程度的降低超高要求的镜片模组问题。