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第76章 纳米光刻机四（第1页）

当人类科技发展到一定程度，最聪明的人穷尽一生也无法学习完某项领域基础理论知识的时候，科技发展就会趋于停滞。

华国的院士，或者世界的诺贝尔奖得主中，40~50岁的人都算是“年轻”

的了。

廖锡昌再过几天便61岁，自从接手了光刻机研发任务后，老人每天睡眠时间不足5小时，更多的时候每晚工作到深夜3点。

助理梁圆推开房间的门，“老师，快2点了，您必须得休息了！”

梁圆今年36岁，干练的短发略微卷曲，眼睛明亮深邃，鼻梁挺直，五官匀称，面容清秀，气质温和亲切，从研究生开始便一直跟着廖老，说是关门弟子也不为过。

“是小圆啊，马上就睡了，你明天通知下白教授那边，近期专项小组由他负责，他会明白的。”

“好的，小路这边又有新发现？”

作为廖老最信任的人，梁圆深知内情，上次的EUV的资料整理就是她在负责。

廖老点了下头，“还是老规矩，周怀义那边会安排，你配合好，这次大概会持续10天左右。”

梁圆双眼一亮，早在32岁那年便获得博士学位，之后就加入申城微电子从事研发工作，对这个行业的了解并不比廖老少。

“明白，老师，这么说dUV光刻机有着落了？”

“没那么简单，这里面涉及的问题很多，对了，这几天你多关注下路阳的身体状况，弄点好吃的给他补补。”

梁圆笑道，“老师还真是关心我这小师弟啊，放心吧，我会盯着的，您也快睡吧。”

说完轻轻关上了房门。

两日后，梁圆拿着本厚厚的资料急匆匆走进房间，脸上挂满不可置信的表情，

“老师，资料整理完了，一共89项，其中有65项为改进优化方案，剩下的24项是替代方案，估计耗时不会少，路阳那边我让他先休息半天，不过看样子他不会听。”

梁圆说话的声音充满了激动，就算已经不止一次，她仍会被路阳的能力所震撼，这种不可思议的感受，无法用言语表达，好在结果吸引了她大部分的注意力。

廖老接过资料，快速翻看起来，表情逐渐凝重，原来的EUV资料绝大部分内容都是新技术，当时看的时候并没有那么强烈的代入感，而这次的dUV技术优化，有很多内容是可以直接使用的。

申城微电子是廖老跟董事长贺兆国从无到有建立起来的，什么技术能快速转化，应用到哪些行业，他心中再清楚不过，特别是双工件台部分，如果华卓拿到这部分内容，说是直接起飞都不为过。

“老师，申城微电子的光刻机生产线如果再次优化，达到45纳米精度将不再是问题，只是这更新速度有点太快了。”

连梁圆都能想明白其中的问题，何况是廖锡昌，只是优化方案就已经如此棘手了，更何况路阳还有一套更完善全面的资料。

“你去联系下周怀义，让他过来一趟，这份资料的事，暂时不要告诉申城微电子那边。”