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第74章 纳米光刻机二（第2页）

路阳心中非常激动，看着净室里的光刻机，穿越回来快半年，能做到今天这步可以说是奇迹了，这奇迹一方面来源于系统，另一方面更多的是国家的支持，人力，财力，政策，技术背后都有无数人默默在付出。

廖老看向路阳，眼神中带着欣慰与鼓励，这种重要的时刻，他选择交给路阳，微微点了下头。

“开机！”

简单的两个字，用尽了路阳全身的力量。

随着光刻机上指示灯亮起，首次流片开始，使用的是苏硅自主研发生产的12英寸硅片，实验目标要求也不高，只要能光刻成功便算圆满，至于良品率什么的都无需考虑。

净室外站着的众人都开始紧张起来，焦急的等待着结果，如果设备正常，雕刻一片晶圆所花的时间还不到2秒，100片也就20分钟左右。

然而这短短的20分钟对于路阳来说却非常漫长，他甚至能听到自己心跳的声音，双眼盯着净室内的操作人员，生怕忽然间设备停止。

当工作人员从设备中拿出第一片雕刻好的晶圆时，众人都松了口气，路阳对检测结果并不看好。

“叮！”

终于听见了久违的声音。

“检测到镜头组错误…”

“检测到工件台不匹配…”

“检测到净室参数不达标…”

系统一口气给出了几十项错误提示。

当检测人员拿着晶圆走出车间时，路阳悄悄来到入口处换好衣服。

廖老视线并未停留在路阳身上，注意力却一直跟着路阳。

没过多久他便发现净室内多了一名工作人员，看身材廖老便知道那是路阳。

触摸机柜的双手略微颤抖，路阳沿着光刻机绕了一圈，随后又继续触摸生产线上的每台设备。

与此同时，净室外的众人视线都集中在检查人员手上。

这次流片目标一步到位，选择的是7纳米手机芯片，设计是华微这边独立完成的。

“良品率，0！”

检察员一句话把所有人拖入谷底，结果在众人预料之内，但心中仍有一丝希望。

希望之火被无情浇灭。