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第57章 三次曝光极限（第2页）

“年哥这边准备好了？”

路阳并没提改造。

倪雅南说道：“这次回去跟任老汇报了苏硅的事，除了感谢之外，任老也托我转告路总一句话，无论是华微还是华芯，都是华国的企业，这条路上，我们不再孤独。”

素未谋面，华芯能得到任老的认可，路阳内心有些感动。

“谢谢任老，华芯才刚刚起步，还需华微在前面指引。”

何洪年微笑着说道：“小路，这次到申城，就两件事，第一件便是dUV光刻机的事，第二件事便是在EUV光刻机的研发上，有需要的尽管开口，无论是人还是钱，我们都一定鼎力支持。”

听到对方说起EUV，知道内情的刘永锐赶紧说道：“老何，第二件事华微这边暂时还是不要插手了，我之前也跟你说过，不能让别人知道。”

华微的研发团队来，有很大一部分是高薪聘请来的国外顶级专家，这种事情马虎不得。

“我明白的，这件事现在整个华微就只有任老与我们两人知道，消息不可能泄密。”

何洪年语气极为认真，任老在确认消息后，对他们二人下了死命令，只要外卖有传消息，无论是否与他们有关，都必须担责。

路阳也反应过来，上次确实是他冲动了，“我们还是回到第一件事上吧，海思这边是什么想法。”

这是路阳第二次正式的询问。

“把麒麟980全面改用华大九天EdA软件，使用苏硅的生产线代工，当然，我们仍然会继续让台鸡电的代工，华芯将作为我们的第一备份。”

这下轮到路阳跟刘永锐感到震惊了，这完全就是孤注一掷了。

麒麟980是华微2018年8月才发布的7纳米精密制程芯片，对标的是高通845，采用海思自研的达芬奇架构NpU。

“7纳米，三次极限曝光，老何，这太激进了，可能性太低。”

路阳也并非当初的那个技术小白，明白90纳米的dUV光刻机通过三次曝光实现7纳米制程只存在于理论上，哪怕海思实力再强，都不一定能设计出来，而且就算真的做出来，成本太过高昂，良品率估计也好不在哪里去。

既然华微这边有了这种觉悟，路阳也不再藏着。

“何总，三次曝光确实机会渺茫，不过如果我们先把精度提高到45纳米或者28纳米，7纳米的精密制程就不再是难题了。”

路阳没等几人询问，继续说道：“现在我们在镜片工艺上有了突破，只需要解决镜头组装，工件台与控制系统问题就行，这方面华微这边有没机会？”

无论是何洪年还是刘永锐，对光刻机的原理都不陌生，最关键的部分解决，软件方面他们经验都相当丰富。

何洪年也算是逐渐熟悉路阳的说话风格了，并未怀疑。

“这个方案确实把握性更大，镜头组装方面与控制系统海思这边一定能攻克，华微的工程师有一定的经验。”

路阳暗下决心，搞了。

“不过，我有一个要求！”