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第21章 与光刻机的第一次接触（第2页）

光刻机的原理并不复杂，就跟我们的投影一样，就是放大。

光如何放大呢，就是造一个放大的透光的膜子，然后把想要的形状印在膜子上，然后通过模子照射在硅片上，但就是这么句简单的概括，却代表着人类最先进的智慧。

光刻机的三要素：

1.光源及照明系统，负责发出均匀可调的，去相干的紫外光照在光掩膜上，也就是上面说的膜子。

2.物镜及成像系统，负责把光掩膜上的图像尽量无损的投射在硅片上。

3.工件台移动及测控系统，负责对准调平，精密定位，接送硅片。

归纳下来就是需要有光源，这被米国垄断，二是需要镜头，这被德国跟日本垄断，三是需要工作台也就是控制系统，这被荷兰ASmL垄断。

三人开始进入更精密的制造车间，换上洁净服，带上手套，路阳看到一台正在组装的光刻机，慢慢靠近。

如果任滢滢在现场，立刻能猜到要发生的事，果然路阳也不管设备多精密，开始用手抚摸光刻机的外壳。

带队的人立刻制止：“住手，这里的东西都不能触碰。”

就知道如此，路阳赶紧道歉，眼里有泪水流出，对方见他都哭了，也不好继续责备。

季一楠安慰道，“路阳，虽然我也很激动，但也用不着哭吧。”

周怀义也没想到路阳的反应这么大，看来光刻机是路阳心中的执念，心中更加坚定。

却不知，路阳感动的是就刚才那几秒的时间，他终于点亮了光刻机的科技树，位于树苗的正中间，90纳米dUV光刻机制造技术。

天见尤怜啊，也许是难度太大，系统在这刻意给他放水了，点亮的不是目录，而是内容。

90纳米dUV光刻机制造技术：生产线、镜头模组、光源制造、控制系统几十项内容。

路阳忽然有了主意，如果自己去荷兰ASmL参观，也摸下他们的产品，是否也可以点亮呢，不行，这个行程必须要走，如果没记错的话，EUV光刻机今年开始设计生产，2019年开始交付。

但现在新的问题出现了，如何把这些技术拿出来才不会让人怀疑，再想想办法吧，都到了这步，就算被知道了又能如何呢？

关键是现在要如何验证，系统给的内容能否绕过现有的专利技术，否则也只是白搭。

路阳决定闭关几天，先把内容整理出来再说，好在大脑里的科技树内容并不会消失，但是要还原一些图纸之类的，这一切太耗时间了，这狗系统就不能再智能化些吗？

给自己套个wifi什么的，传到电脑上直接打印出来啊。

回来的路上，季一楠忽然大叫一声，“我想到办法了！”