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这里面分成十个大的部分。
第一是切割车间。
从外面工厂运进来的成品硅晶片,被金刚石划线机将晶圆切成半英寸见方的小块。
然后自动整齐的放到流水线上。
第二是涂胶车间。
在狭小的晶圆上需要均匀涂抹光刻胶。
为了均匀涂抹光刻胶,必须利用离心力的原理。
以每分钟4ooo转的速度旋转3o妙的宣涂机,为晶圆涂上1oo微升的光刻胶,光刻胶均匀地覆盖在晶圆上,并且多余的光刻胶被甩掉。
这一步也是全自动的。
第三个是干燥车间。
把晶圆放在热板上干燥一分钟,留下一层完整的固体薄膜。
但是小白没有看到温度显示,只有一块单片机控制温度。
第四个就是最重要的光刻机车间。
硅片经过流水线到了这里,接着就是光刻曝光,这就需要光刻机了。
光刻的原理也简单,就跟照相机差不多,把提前设计好的电路图,通过凸透镜打在涂抹了光刻胶的硅晶圆上,然后光刻胶在光线的照射下发生化学变化,说白了也就是把电路印在上面。
这个流程的难点是精度。
小白知道想要得到高精密的程度,工艺调剂还是极其苛刻,瑕疵是用皮米来计算的。
什么是皮米?1皮米相当于1米的一万亿分之一。
如果把凸透镜放大到德国那么大的面积,那么整个镜面的误差不能超过1厘米。
尤其是EUV光刻技术,那就是更厉害了,全世界也就荷兰ASmL阿斯麦能干!
但是这穿越者竟然自制出来一个小型的无掩膜光刻机,虽然相比阿斯麦那个精度肯定是差远了,但是处理不是很成熟的工艺,还是妥妥的够了。
因为太高精度还要求无尘环境,这里的工作人员都随意的穿着便装,显然洁净度要求不高。
他的解决方案说来也简单,他制作了一台专门的投影仪,改装后安装在自制的显微镜上,一台光刻机就诞生了。
再用光刻机将光束投射到设计好的电路图上。
小白看到他们贴在墙上的技术规范,他的电路图是一个由12个电路组成的栅格,每个电路有1oo个晶体管,共计12oo个晶体管。
第五个是蚀刻车间。
光刻完成后,把晶圆放在一种化学溶液中放置大约一分钟,蚀刻掉曝光的光刻胶部分,接着将残留的显影剂用清洗水去除。
小白看了他们的补充液,上面写着k2o,小白认得这是氧化钾溶液的意思。
第六个是烘烤车间。
蚀刻完毕的硅片被装进特殊材料制作而成的盘子里,放入1ooo摄氏度左右的炉子里烘烤,以调整电导率。
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