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第18章DYN离子束抛光技术灵感乍现(第1页)

找准了方向,苏哲将五次测试数据的五组带负电的离子束的相关数据挑出来仔细的梳理了一遍。

再根据作为模板的光学镜头镜片的特性,计算离子束的物质组成和加工时的能区,也就是离子在撞击光学镜头镜片镜面时的速度。

一条数据一条数据的分析,一个参数一个参数的计算,终于在耗了八个小时,消耗五个大馍,半斤大白兔奶糖,和满满一杯水的情况下。

带负电的离子束被他推算出来了。

这种离子束物质组成主要是氮,以及少量的氧和氖。

之所以能够在这么短的时间内推算出来,一方面是他强大的脑力和计算力,再就是得益于有着大量的数据。

离子束的问题解决了,接着又把加工工件的过程和加工环境加入了进来。

通俗的说,就是使用相关的数据,模拟了离子束加工光学镜头镜片的加工过程。

结果,想当的完美。

当然,他做的都是理论,考虑到的因素基本上是理想状态下了,要在工程上实现,难度还是有的。

就比如离子束的能量控制,以及加工环境的控制,有着很多现实、工程上的难题。

相对的,他对工程实现这一块非常的薄弱。

这时他知道,要想在探索宇宙和研究基本粒子的这条路上走的更远,不仅要掌握理学相关的知识,工学相关的知识也要掌握。

想到这,苏哲站了起来,活动活动身体。

不管怎么说,他已经在理论上突破了离子束抛光技术精度,以他的计算结果看,使用这种离子束抛光技术,光学镜头镜片平面镜面能达到o.o6纳米的面型精度峰谷值和1o皮米的表面粗糙度。

较蔡斯公司加工出来的o.12纳米的面型精度峰谷值和2o皮米的表面粗糙度要强上不少。

且加工光学镜头镜片的曲面精度能够达到o.1纳米的面型精度峰谷值和16皮米的表面粗糙度。

这样加工出来的光学镜头的镜片,不管是平面的精度,还是曲面的精度,使用在EUV光刻机上都是绰绰有余的。

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