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第二十章 真空镀膜上（第2页）

“因为学校要统计实验室的固定资产，价格超过元的都要统计上报。

实验室虽然是魏老师管，但所有权是归国家的，因为申请的科研经费是国家出的。

除非是老板自掏腰包或者企业出钱，那就另说。”

陈婉清道。

许秋点点头，开始打量舱体内部。

下面有四个圆柱体形状的炉子，应该是束源炉。

四个束源炉旁边有两个金属平台，每个平台上面都有一块金属板，大概六厘米长，三厘米宽，一厘米厚，金属板通过六角螺丝与平台连接，中间有一定的缝隙。

“学姐，这个是干什么用的？”

许秋指着平台问道。

“这个是电流加热装置，将用钨丝制成的篓，放在两个平台间，用金属板压住钨篓两端，通电流对钨篓加热，可达到很高的温度，使其内部靶材气化，进行蒸镀。”

陈婉清道。

许秋继续看向舱体，中间部分有一探头状的物体，像个吊灯一样悬挂在束源炉和平台的上方。

学姐顺着许秋的目光看去，主动介绍道

“这个是晶振装置，探头处装有晶振片，用来实时检测蒸镀的薄膜厚度。

它的位置一定不能乱动，因为现在的参数是已经标定过的，如果移动了它的位置，对膜厚的检测结果就不标准了。

此外晶振片也是有寿命的，所以需要定期更换晶振片，并重新标定厚度。”

舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台。

“上面这个肯定是样品台了，为什么下面要加装一块金属挡板呢？”

许秋问道。

“这块金属挡板叫做样品挡板，当他处于开启状态时，可以有效阻挡气体分子沉积在样品表面。

因此，我们可以利用它，控制蒸镀的开始和结束时间，得到精确的厚度。”

陈婉清道。

将舱内情况了解完毕后，许秋开始做蒸镀前的准备工作。

两批基片的器件结构不同，需要分两次进行蒸镀。

第一批是正常结构，也就是蒸镀钙和铝。

许秋首先在钨篓中装满纯度的铝锭，然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板。

挡板的开关是数控的，需要在手套箱外的总控台操作。

打开挡板后，他取出束源炉内部的陶瓷坩埚，将上次使用后剩余的残渣倒出，再加入两勺新的纯度的钙粉末。

陶瓷坩埚是特质的，可以至少承受摄氏度以上的高温，且十分稳定，不会与靶材反应，产生杂质。

完成后，他让学姐关闭束源炉挡板。